【化学気相反応法】

か￨がく･き￨そう･はん￨のう￨ほうkagaku·kisō·hannōhō

Chem. chemische Gasphasenabscheidung f f; chemische Gasphasenbeschichtung f f; CVD-Verfahren n n; CVD-Beschichtungstechnik f f.