【化学気相堆積法】

か￨がく･き￨そう･たい￨せき￨ほうkagaku·kisō·taisekihō

Chem. chemische Gasphasenabscheidung f f; chemische Gasphasenbeschichtung f f; CVD-Verfahren n n; CVD-Beschichtungstechnik f f.