von engl. hexamethyldisilazaneChem. Hexamethyldisilazan n n; HMDS n n; Bis(trimethylsilyl)amin n n (als Lösungsmittel und Reagens verwendete flüssige Verbindung; zur Herstellung von quarzähnlichen Beschichtungen verwendet; bisu·torimechirushiriru·aminビス（トリメチルシリル）アミン).
【ヘキサメチレン･ジシラザン】
へきさめちれん･じしらざんhekisamechiren·jishirazan
von engl. hexamethyldisilazaneChem. Hexamethyldisilazan n n; HMDS n n; Bis(trimethylsilyl)amin n n (als Lösungsmittel und Reagens verwendete flüssige Verbindung; zur Herstellung von quarzähnlichen Beschichtungen verwendet; bisu·torimechirushiriru·aminビス（トリメチルシリル）アミン).