【EUVリソグラフィー；イー･ユー･ブイ･リソグラフィー】

いー･ゆー･ぶい･りそぐらふぃーī·yū·bui·risogurafī9

N.
von engl. EUV lithography
Elektrot. EUV-Lithographie f f.
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