【電子ビーム露光装置】

でん￨し･びーむ･ろ￨こう･そう￨ちでん￨し･びーむ･ろ￨こう･そう￨ちdenshi·bīmu·rokō·sōchi4—410

Phys. Elektronenstrahlbelichtungsanlage f f.

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